系列详情

耐真空光纤

所属类型：	传感器
品牌：	松下
产地：	日本
状态：	在产
特点：	颠覆耐真空光纤的常识OneTouch１秒

颠覆耐真空光纤的常识　One Touch１秒^※安装
※在法兰上安装1根光纤的耗时

耐真空光纤

耐真空法兰

光纤传感器规格检索

通过筛选检测形态、检测距离和用途等各种条件查找
到最合适的光纤！

特点

更easy、更simple。安装极其轻松

[专利申请中]
可轻松实现逐根拆装或同时拆装(单触式安装)多根光纤的耐真空光纤用法兰

单触式、1秒安装

只需要插入法兰

通过开发单触式方式，实现了只需对准光纤的方向插入即可的简单安装。
拆卸只需拉起固定金属件拔出光纤即可。有助于大幅削减作业时间。

螺丝紧固方式

戴着手套紧固螺丝的安装方式非常麻烦！
担心小零件丢失
紧固过度导致裸线破裂/折断

单触式方式

采用单触式安装，大幅削减作业时间和工时
施工简单，只需将光纤插入法兰即可
安装简单，无需使用工具进行扭矩管理等

※	采用接头金属件嵌入固定金属件之中的“防脱落结构”。

耐真空法兰 4CH／1CH

加工孔只有一个

通过采用法兰连接，实现光纤引入部分的省空间化并减少了安装孔数。
过去需要与光纤数量相同的安装孔集中为一个，削减了孔加工费和泄漏的可能性。

以往的光纤引入部分

需要逐根光纤进行引入部分的孔加工
需要能将工具和手伸入的空间

耐真空法兰的光纤引入部分

安装8根光纤只需要进行1处孔加工，加工费和泄漏风险都只有1/8。
可以集中安装，实现引入部分的省空间化。

封漏结构

采用法兰内部内置玻璃裸线的封漏结构，只将光传输至真空侧。
未连接光纤时泄漏量也不变。
※ 4CH/1CH法兰泄露量：1.0×10^-10Pa・m³/s〔He〕以下

应用

机械手上的玻璃就座检测

半导体晶片检测

玻璃通过检测

玻璃有无检查

提高客户产品质量、削减工时

规划设计、制造厂、效率工作、彩盒、要货均由工作对策落实的东南亚中国内地有形车间一根龙顺利完成。

真空烘烤除气

对机械部件做清洁工作和烘烤进行处理后将涡流侧光钎

可变更光纤长度

可进行半定制，以100mm为单位变更光纤长度。也可在投/受光侧改变长度。
请随意咨询。
>>光纤的半定制需求

种类

耐真空光纤商品构成

耐真空透过型光纤(2根组)

十足侧光纤线另售。请再行采购。

种类	前端形状(mm)	型号	弯曲半径 (mm)	光纤长度	光轴直径 (mm)	使用环境温度
耐真空	耐热300℃、可安装镜头(FV-LE1/SV1/SV2)	FT-40V	R25	1m(注1)	ø1.3	-30～ +300℃

(注1):	不为自由裁切割。提供以100mm为单位变更光纤长度的半定制产品。有光详情，敬请咨询。

・	备有透过型光纤用透镜。详情请参考可选件页面。 >>点击进入可选件页面

・	关于检测距离，详情请参阅「数字光纤传感器 FX-550 光纤一览」「数字光纤传感器 FX-500 Ver.2 光纤一览」「数字光纤传感器 FX-100 光纤一览」。

耐真空反射型光纤

霸气侧光仟另售。请另外够买。

种类		前端形状(mm)	型号	弯曲半径 (mm)	光纤长度	使用环境温度
耐真空	长距离反射型	耐热300℃、方头	FD-KZ50V	R25	1m(注1)	-30～ +300℃
耐真空	限定反射型	耐热300℃、玻璃基板检测	FD-L10V	R25	3m(注1)	-30～ +300℃

(注1):	不为自由裁切割。提供以100mm为单位变更光纤长度的半定制产品。有光详情，敬请咨询。

・	关于检测距离，详情请参阅「数字光纤传感器 FX-550 光纤一览」「数字光纤传感器 FX-500 Ver.2 光纤一览」「数字光纤传感器 FX-100 光纤一览」。

大气侧(2根组)

种类	前端形状(mm)	型式名	弯曲半径 (mm)	光纤长度	自由裁切	使用环境温度
大气侧		FT-J9	R4 耐屈曲	2m(注1)	○(注2)	-30～ +80℃

(注1):	不为自由裁切割。提供以1m为单位变更光纤长度的半定制产品。有光详情，敬请咨询。
(注2):	自由裁切型的光纤，根据末端部分的处理检测距离最多会缩短20%，敬请注意。

・	以下标志表示不会折断(弯曲半径：R10mm、往复弯曲：180°)、而且可以弯曲(弯曲半径：R4mm以下)的光纤。

耐真空法兰

支持光纤传输为FT-40V、FD-KZ50V、FD-L10V、FT-J9。

品名	型号	内容
耐真空法兰 1CH	FV-FR1		使大气侧和真空侧绝缘。真空槽壁(反应室)的推荐厚板・FV-FR1：3.0～40.0mm。(注1)
耐真空法兰 4CH	FV-FR4		使大气侧和真空侧绝缘。真空槽壁(反应室)的推荐厚板・FV-FR4：3.0mm以上。(注2)

(注1):	非推荐板厚的真空槽无法安装FV-FR1，请事先充分确认。
(注2):	真空槽壁过厚可能无法在真空侧光纤上安装FV-FR4。届时请在真空侧光纤与FV-FR4已经连接的状态下进行安装。

耐真空法兰　主要规格

型号	FV-FR1	FV-FR4
适用光纤	FT-40V、FD-KZ50V、FD-L10V、FT-J9
泄露量	1.0×10⁻¹⁰Pa・m³/sec以下(※使用He探测器)
使用环境温度	−30℃～＋120℃ (保存时相同。在高湿度环境下最高为＋40℃。应无结露、结冰。)
使用环境湿度	35～85％RH(保存时相同。)
紧固强度	螺母14.7N・m以下(M14螺母部)	9.8N・m以下(M8螺丝)
拉伸强度	20N以下(大气侧/真空侧光纤接头部)
O形环尺寸	V15	V40
重量	约100g	约410g
材质	本体：SUS303、固定金属件：SUS301、光纤部：石英玻璃、O形环：氟橡胶